저희 ㈜테라세미콘은 독창적인 온도제어 기술과 증착 기술을 이용하여 초고부가 장치인 반도체 및 AMOLED 제조장비를 개발 및 생산하는 Hi-Tech 회사입니다. 현재 최고 온도 1350 ℃까지 공정할 수 있는 300 mm Vertical System은 세계적 경쟁력을 가지고 있고, 차세대 꿈의 디스플레이로 각광받는 AMOLED를 제작하기 위한 핵심 저온공정화 장비를 생산하고 있습니다. 기타 태양전지 및 LED 제조용 핵심공정장비를 개발 및 생산하고 있습니다.

[기업비전]
저희는 젊은 Venture Engineer들이 모인 "Dynamic Company"입니다. 반도체 및 FPD 장비를 제조하는 가장 좋은 회사가되기보다 세계에서 유일한 "The Only Company"가 되기 위해 끊임없이 도전하는 회사입니다. 차세대 기술 적용을 위해 반드시 해결해야 할 한계점을 깊이 성찰하여 새로운 혁신적 개념의 장비를 제공하고 있습니다. 더불어 양산 장비로서의 생산성을 겸비하면서도 기존 장비와 차별화된 고부가 장비의 지속적인 개발로 세계 반도체 및 FPD 장비시장에서 주도적인 역할을 하고자 합니다.

[기술개발]
(주)테라세미콘은 300mm wafer를 초고온에서 열처리할 경우 발생하는 wafer의 변형과 오염을 근본적으로 방지하는 혁신적 고온 제어 기술을 확보하고 있습니다. 또한 일반적인 batch type LPCVD 장비의 기술적 한계인 Wafer Backside 증착을 in-situ로 완벽하게 방지할 수 있는 신 개념의 CVD기술인 MagicDepo system 기술을 제공하고 있습니다.

저희는 종래 수평으로 wafer를 loading하는 매엽식 Epitaxy장비의 생산성과 품질문제를 획기적으로 개선할 수 있는 wafer 두 매를(Dual wafer type) 동시에 수직으로 loading하는 Epitaxy장비를 개발 완료하여, 종래의 고품질 Epi wafer 제조, 저온 Selective Epi 및 SiGe Epi 분야에 대응해 오고 있습니다.

신개념 기술개발
㈜테라세미콘은 300mm 반도체 wafer 를 초고온에서 열처리할 경우 발생하는 wafer 의 변형과 오염을 근본적으로 방지하는 신개념 고온 제어 기술을 확보하고 있습니다. 특히, 당사의 독창적인 process chamber 설계는 초고온에서 wafer 의 변형을 완벽하게 방지할 뿐 만 아니라, FPD 및 태양전지 공정에서도 본 기술을 접목하여 고온 공정에서 glass 의 변형을 근본적으로 방지할 수 있습니다.

차세대 고품질 Display 인 AMOLED 및 LTPS LCD 는 기존 비정질 TFT 를 기본으로 하는 LCD 와 다르게 비교적 고온의 glass processing 이 반드시 필요합니다. ㈜테라세미콘은 차세대 Display 제조를 위한 핵심 고온 공정용 장비를 개발, 생산하고 있습니다.

태양전지는 반도체 기술을 바탕으로 하는 벌크형 결정질 태양전지와 Display 기술을 바탕으로 하는 박막형 태양전지로 양분할 수 있습니다. 당사는 차세대 태양전지인 실리콘 박막형 태양전지의 효율을 높이기 위해 glass 기판 위에 결정질 고품질 박막을 형성하는 기술과 장비를 제공합니다. 또한 고효율 CIGS 계 박막형 화합물 태양전지의 양산성을 배가하기 위한 Selenization용 anneal 장비를 공급하고 있습니다.

미래지량적인 Dynamic Company
㈜테라세미콘은 젊은 Venture Engineer들이 모인 "Dynamic Company"입니다. 반도체/FPD/태양전지 장비를 제조하는 좋은 회사가 되기보다 세계에서 유일한 "The Only Company"가 되기 위해 끊임없이 도전하는 회사입니다. 차세대 IT제품의 상용화를 위해 반드시 해결해야 할 한계점을 깊이 성찰하여 새로운 혁신적 개념의 장비를 제공하고 있습니다. 더불어 양산 장비로서의 생산성을 겸비하면서도 기존 장비와 차별화된 고부가 장비의 지속적인 개발로 세계 반도체/FPD/태양전지 장비시장에서 주도적인 역할을 하고자 합니다.

[조직도]