2014.04 회사 설립
2014.11 연구소 기업 등록
2016.12 중소벤처기업부 구매조건부신제품개발사업 선정(Remote Plasma System 국산화)
2017.03 Venture Capital 투자유치(20억)
2017.08 삼성전자 납품 개시(Remote Plasma System)
2017.09 반도체성전펀드 1호기업 선정
2018.12 매립지가스의 액체화합물 전환기술의 실증화 개발 사업 MOU체결(대성환경에너지, 한국화학연구원)
2019.12 Venture Capital 투자유치(20억)
2020.09 그린벤처유망기업 100 선정(매립지기반 수소생산 시스템 개발)
2020.11 플라즈마 발생기술관련 특허 40여건 출원(미국, 유럽, 일본, 대만, 중국 진출)