"공정별 이슈 규명/해결"
양산/기술 엔지니어는 반도체 공정별 불량, 이슈를 규명하고 해결하여 수율을 향상하고, 안정적인 고품질의 제품을 생산하기 위해 최상의 솔루션을 제공합니다. 이 직무의 전문성을 높이기 위해 두 가지 학습 과정입니다.
첫째, 반도체 공정 이해도입니다.
저는 반도체 공정 지식 및 기술의 학습을 반도체 관련 수업을 찾아 들으며 습득했습니다. ‘반도체 장비설계’ 수업과 ‘반도체 제조공정’ 수업을 통해 반도체 장비 주요부 기구설계와 8대 공정에 관한 기술을 공부하였습니다. 추가적인 반도체 장비개발 학습을 통해 반도체 관련 OOOOO 수료증을 이수할 수 있었습니다.
둘째, 공정실습을 통한 경험입니다.
반도체 공정에 관한 강의에서 습득한 지식 및 기술을 직접 반도체 공정에 직접 적용해보고 싶어서 OOOOOO에서 주최하는 MEMS 공정실습에 참여하였습니다. 방진복을 입고 FAB실에 들어가 4인치 웨이퍼에 1.2마이크로미터 높이의 패턴을 만드는 것을 목표로 공정실습을 진행하였습니다. 실제 공정은 이론으로만 배웠던 것 이외의 많은 변수가 있다는 걸 알았습니다. 웨이퍼에 패턴을 입히고 현상과정에서 현상시간을 조정해도 해결이 안 되는 경우, 웨이퍼 세척 불량으로 PR이 도포가 잘 안 되는 경우, PR이 덜 건조되어 Develop 과정에서 PR이 더 벗겨지는 경우 등 작은 실수가 불량의 원인이었습니다. 공정과정마다 이러한 변수를 메모하며 실험과정을 정리하였습니다. PR 두께, 노광시간, 현상액 온도, rpm, 두께, 현상시간, Melting point 등을 바꾸어 나가며 수율을 높여가기 위해 노력했습니다.
실습을 해보면서 각각의 공정에서 이슈가 발생할 수 있고, 실제 설비를 다룰 때 작은 실수가 수율을 현저히 낮춘다는 것을 느꼈습니다. 작은 실수도 분석하는 것이 수율을 높일 방법이라는 것을 느꼈습니다. 이러한 경험을 토대로 작은 실수도 잡아내어 규명하고 해결하여 SK하이닉스의 양산/기술 분야의 전문가가 되고 싶습니다.