과학기술정보통신부가 지원하는 S-HERO에 선발되어 600만원의 과제비로 산업체 문제를 함께 해결했습니다. 팀의 연구 주제는 ‘기능성 코팅으로 포토마스크 표면에 발현된 Haze가 포토 공정에 미치는 영향 분석’이었습니다.
KANC에서 i-line stepper를 사용 중 예산 문제로 계획에 차질이 생겼습니다. 샘플 제작을 위해선 표준 공정을 변경해야 했는데, 이때마다 추가 금액이 발생한 것입니다. 샘플 측정 예산이 축소된 상황을 신중하게 판단했고, 분해능과 Tool 기능이 부족하더라도 교내 OM 사용을 결정했습니다. 이때, 100% 수동 조작으로 측정 숙련도가 데이터 신뢰성에 직결됐고, 팀원이 돌아가며 PR 패턴을 측정하다 보니 미세하게 측정 포인트가 달라지는 문제가 생겼습니다. 목표 기간내 데이터 신뢰성 확보를 위해 신속하게 결단했습니다.
첫째로 측정을 멈추고, 2주일간 측정 스킬 향상에 집중했습니다. 측정 연습 할당량을 설정한 뒤, 끊임없이 반복 숙달하며 손끝의 민감도를 높였습니다. 둘째로 터득한 스킬과 Tool 활용법을 종합하여 측정 순서도를 만들고, 측정 포인트마다 대표 이미지를 설정하여 ‘작업 표준서’를 도식화했습니다. 중간발표에서 작업 표준서 작성과 문제 해결을 위한 설계 과정이 돋보였다는 평가를 받았습니다.