"MEMS 반도체 제작과정"
자동차가 기계장치에서 전자장치로 진화하면서, 미래 자동차는 자율주행·친환경 기술이 탑재된 스마트카로 발전하고 있습니다. 미래경쟁력을 좌우하는 핵심기술인 차량용 반도체를 개발하고자 하는 목표를 세웠습니다. 이러한 목표를 수행하기 위해 '반도체제조공정', '반도체장비설계' 수업을 듣고 반도체 장비개발 학습을 통해 반도체 관련 국가직무능력표준(NCS) 수료증을 이수할 수 있었습니다. 또한, MEMS 반도체를 직접 제작해보는 과정을 거쳤습니다.
이러한 MEMS 반도체 회로를 제작해보면서 체력적·정신적 한계에 부딪혔던 경험이 있습니다.
반도체를 제작하기 위해서는 청정실에 들어가야 했습니다. 청정실 내부는 일반 대기압보다 높은 양압으로 만들어놓아 압박감과 피로감이 더해져 체력적인 어려움이 있었습니다. 육체적인 피로로 인한 스트레스를 받았지만 시작한 일은 끝까지 책임을 다해야 한다는 마음가짐으로 끝까지 노력했습니다.
공정 진행과정 중 웨이퍼에 패턴을 입히고 현상과정에서 현상시간을 조정해도 해결이 안 되고, PR이 도포가 잘 안 되어 정신적인 어려움이 있었습니다. 또한, PR이 기대치보다 더 벗겨지는 경우 등 다양한 문제점이 발생하였습니다. 작은 실수로 인해 문제점이 생긴 것이 아닌지 하나하나 되짚고 작은 실수도 잡아내어 규명하고자 노력했습니다. PR 두께, 노광시간, 현상액 온도, rpm, 두께, 현상시간, Melting point 등을 하나씩 바꾸어 나갔습니다. 수율을 높여가기 위해 노력한 결과 완벽한 수율의 반도체를 제작할 수 있었습니다.